DOI: https://doi.org/10.18524/0235-2435.2012.21.205222

ВПЛИВ МЕХАНІЧНОЇ ОБРОБКИ, ЕЛЕКТРИЧНОГО ТОКУ, ЗМІНИ ДЕФЕКТНОЇ СТРУКТУРИ НА НЕПРУЖНІ характеристики підкладок Si + SiO2, GeSi и SiO2

А. П. Онанко, О. В. Ляшенко, Г. Т. Продайвода, С. А. Вижва, Ю. А. Онанко

Анотація


Для неруйнівного контролю структурних дефектів напівпровідникових пластин розроблена методика, що дозволяє по різниці внутрішнього тертя вільних пружних коливань на сусідніх гармоніках f1 і f2 визначати інтегральну щільність структурних дефектів, їх розподіл і глибину порушеного шару. Для підкладок Si + SiO2 зміряна інтегральна щільність дислокацій і глибина порушеного шару по градуювальній кривій. Розглянутий вплив постійного і змінного електричного току при одночасній дії ультразвукової деформації на внутрішнє тертя і модуль пружності монокристала GeSi2 після різання і шліфування. Виявлено зменшення модуля пружності і зростання внутрішнього тертя досягши критичної величини електричного току

Ключові слова


напівпровідникова підкладка; структурні дефекти; ультразвукова деформація; внутрішнє тертя; модуль пружності

Повний текст:

PDF

Посилання


Landau L. D., Liphshic E. M. Theory of elasticity. — M.: Nauka, 1999 — Р. 364 .

Lyashenko O. V. , Onanko A. P., Vele-schuk V. P. et al. Structural defects relaxation during complex thermal and dynamical mechanic processing of CdTe // Photoelectronics. — 2008. — № 17. — Р. 10-13.

Onanko A. P. Influence of hydrogen on directional surface of inelastic-elastic body Ti0.5Al0.5 alloy // Metalphysics and new technology. — 2011. — V. 33, № 2. — P. 253-261.

Novik A., Berri B. Relaxation phenomena in crystals. — M.: Atomizdat, 1995. — Р.472 .

Nikanorov S. P., Kardashev B. K. Ela-sticity and dislocation inelasticity of crystals. — M.: Nauka, 1995. — Р.253 .

Shpak A. P., Kunickiy Y. A., Karbov-skiy V. L. Clusters and nanostructure materials. — Kyiv: Academy periodic, 2001. — Р.588 .

Molodkin V. B., Nizkova A. I., Shpak A. P. et al. Difractometria nanosize defects and geterolayers in crystals. — Kyiv: Academy periodic, 2005. — Р.364 .

Azarenkov N. А., Beresnev V. M., Po-grebnyak А. D. Structure and properties of protective covering and modify materials layers. — Charkov: CNU, 2007. — Р.560 .

Vlaskina S. I., Svechnikov G. S., Smintina V. А. Films of silicon carbide. — Odesa: Astroprint, 2007. — Р.104 .

Smintina V. А. Physics-chemical phenomena on solid state surface. — Odesa: Astroprint, 2009. — Р.191




Creative Commons License
Ця робота ліцензована Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

ISSN: 0235-2435 (Print)